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气相沉积炉概述:CVD化学气相沉积炉是用于制备碳碳复合材料,完成CVD气相沉积工艺的重要工艺装备。
1)设计温度:1250℃/1650℃/1800℃/2200℃
2)常用温度:900~1200℃
3)真空度:<50Pa
4)压升率:空炉冷态6.67Pa/h(或150Pa/24h)
5)加热方式:石墨电阻加热或感应加热
6)气氛介质:氮气、丙烯、乙炔、氢气
7)控气方式:质量流量计控制
8)炉型:方形、圆形、立式或卧式结构(非标设计)
9)其它介质:炉壳冷水
气相沉积炉
感应加热CVD化学气相沉积炉
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